Monografie
Mikro-Nano-Integration für metallische Mikrosysteme mit vertikal integrierten Federelementen
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
XXVIII, 373 S.
- Anmerkungen
-
Zugl.: Darmstadt, Techn. Univ., Diss., 2013
- Identifier
-
1043698590
- Reihe
-
Mikro- und Sensortechnik; Bd. 30
Thema
Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:53 MESZ
Objekttyp
- Monografie
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