Hochschulschrift

Untersuchungen zum Dünnen und Vereinzeln dünner Silizium-Wafer

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Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783899595802
3899595807
Dimensions
21 cm
Extent
XVII, 134 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Hannover, Univ., Diss., 2007

Classification
Elektrotechnik, Elektronik
Keyword
Siliciumbauelement
Dünne Schicht
Wafer
Elektropolieren
Trennschleifen

Event
Veröffentlichung
(where)
Tönning, Lübeck, Marburg
(who)
Der Andere Verl.
(when)
2007
Creator

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Last update
11.06.2025, 1:50 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

Associated

Time of origin

  • 2007

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