- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
München, Techn. Univ., Diss., 2003
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Silicium
Wafer
Oberflächenreinigung
Wasserstoffperoxid
Komplexbildner
Einstufenprozess
- Urheber
- URN
-
urn:nbn:de:bvb:91-diss2003012907740
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
14.08.2025, 11:01 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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