- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
[6], 132 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
München, Techn. Univ., Diss., 2002
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Silicium
Wafer
Oberflächenreinigung
Wasserstoffperoxid
Komplexbildner
Einstufenprozess
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:34 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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