Hochschulschrift
Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
138 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Karlsruhe, Univ., Diss. S. Achenbach
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Karlsruhe
- (wer)
-
FZKA
- (wann)
-
2000
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:24 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Achenbach, Sven
- Pantenburg, Franz Josef
- Mohr, Jürgen
- FZKA
Entstanden
- 2000
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