Jürgen Mohr
Hat mitgewirkt an:
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Entwicklung, Optimierung und Test von elektromagnetischen Linearaktoren basierend auf LIGA-Mikrotechnik
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Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik
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Miniaturisiertes Spektrometersystem in LIGA-Technik
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Optimierung der Prozeßbedingungen zur Herstellung von Mikrostrukturen durch ultratiefe Röntgenlithographie (UDXRL)