Hochschulschrift
Das interferometrische Phasenkontrastverfahren und seine Anwendung zur Herstellung diffraktiver optischer Elemente
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783939473787
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XIII, 190 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010
- Keyword
-
Diffraktives optisches Element
Interferenzlithografie
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2009000490
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:55 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Teschke, Marcel
- Univ.-Verl.
Time of origin
- 2010
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