Hochschulschrift

Das interferometrische Phasenkontrastverfahren und seine Anwendung zur Herstellung diffraktiver optischer Elemente

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783939473787
Maße
21 cm
Umfang
XIII, 190 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010

Schlagwort
Diffraktives optisches Element
Interferenzlithografie

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Ilmenau
(wer)
Univ.-Verl.
(wann)
2010
Urheber

URN
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2009000490
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:55 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2010

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