Hochschulschrift
Das interferometrische Phasenkontrastverfahren und seine Anwendung zur Herstellung diffraktiver optischer Elemente
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
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9783939473787
- Maße
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21 cm
- Umfang
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XIII, 190 S.
- Sprache
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Deutsch
- Anmerkungen
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Ill., graph. Darst.
Zugl.: Ilmenau, Techn. Univ., Diss., 2010
- Schlagwort
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Diffraktives optisches Element
Interferenzlithografie
- URN
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urn:nbn:de:gbv:ilm1-2009000490
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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25.03.2025, 13:55 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Teschke, Marcel
- Univ.-Verl.
Entstanden
- 2010