Molecular Layer Deposition from Dissolved Precursors

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
In: ECS Journal of Solid State Science and Technology 6.9 (2017): N171-N175.

Event
Veröffentlichung
(where)
Erlangen
(who)
Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)
(when)
2017
Creator
Fichtner, J.
Wu, Y.
Hitzenberger, J.
Drewello, T.
Bachmann, J.

DOI
10.1149/2.0291709jss
URN
urn:nbn:de:bvb:29-opus4-181875
Rights
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Last update
22.03.2024, 1:08 AM CET

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Associated

  • Fichtner, J.
  • Wu, Y.
  • Hitzenberger, J.
  • Drewello, T.
  • Bachmann, J.
  • Friedrich-Alexander-Universität Erlangen-Nürnberg (FAU)

Time of origin

  • 2017

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