Hochschulschrift
Plasmaaktivierte Abscheidung harter amorpher Kohlenwasserstoff-Schichten bei verschiedenen Anregungsfrequenzen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183651054
318365105X
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VIII, 117 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2001
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 651, Reihe 5
- Keyword
-
Kohlenwasserstoffe
PECVD-Verfahren
Dünne Schicht
Amorpher Zustand
Tribologie
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Düsseldorf
- (who)
-
VDI-Verl.
- (when)
-
2002
- Creator
-
Dimer, Martin
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:34 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Dimer, Martin
- VDI-Verl.
Time of origin
- 2002
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