Gettering defects in semiconductors

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783540262442
354026244X
Maße
24 cm
Umfang
XV, 386 S.
Sprache
Englisch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Literaturverz. S. 343 - 366

Erschienen in
Advanced microelectronics ; 19

Klassifikation
Physik
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Schlagwort
Halbleiter
Störstelle
Getterung

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Berlin, Heidelberg, New York
(wer)
Springer
(wann)
2005
Urheber
Perevoščikov, Viktor A.
Skupov, Vladimir D.

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:47 MESZ

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Beteiligte

  • Perevoščikov, Viktor A.
  • Skupov, Vladimir D.
  • Springer

Entstanden

  • 2005

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