Hochschulschrift
Gekoppelte dynamisch-optische Simulation von Hochleistungsobjektiven
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783844041750
3844041753
- Maße
-
21 cm, 231 g
- Umfang
-
XII, 142 Seiten
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Illustrationen
Universität Stuttgart, Dissertation, 2015
- Erschienen in
-
Schriften aus dem Institut für Technische und Numerische Mechanik der Universität Stuttgart / Universität Stuttgart ; Band 40 (2016)
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
Fotolithografie
Objektiv
Mehrkörpersystem
Finite-Elemente-Methode
Ray tracing
Fourier-Optik
Simulation
Belichtung
Bildfehler
Photoresist
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
2016
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 14:01 MESZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Wengert, Nicolai
- Shaker Verlag
- Shaker
Entstanden
- 2016
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