Monografie
Gekoppelte dynamisch-optische Simulation von Hochleistungsobjektiven
- Sprache
-
Deutsch
- Umfang
-
XII, 142 Seiten
- ISBN
-
978-3-8440-4175-0
- Identifier
-
1080494162
- Reihe
-
Schriften aus dem Institut für Technische und Numerische Mechanik der Universität Stuttgart; Band 40 (2016)
Thema
Fotolithografie ; Objektiv ; Mehrkörpersystem ; Finite-Elemente-Methode ; Ray tracing ; Fourier-Optik ; Simulation ; Belichtung ; Bildfehler ; Photoresist ; Hochschulschrift
Beteiligte Personen und Organisationen
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf Teile des Objekts ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
15.04.2024, 08:47 MESZ
Objekttyp
- Monografie
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