- Sprache
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Deutsch
- Identifier
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1185581979
- Reihe
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Schriften des Instituts für Mikrostrukturtechnik am Karlsruher Institut für Technologie / Hrsg.: Institut für Mikrostrukturtechnik; 2
- DOI
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10.5445/KSP/1000016593
- URN
- Rechteinformation
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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26.01.2023, 13:54 MEZ
Objekttyp
- Monografie
Beteiligte
- Grund, Thomas
- Kohl, M.