Hochschulschrift
Der Einfluss von Kontaminationseffekten auf die mechanischen Eigenschaften von magnetron-gesputterten TiN-Schichten
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181480052
3181480053
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VI, 107 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1992
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 5 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 280, Reihe 5
- Schlagwort
-
Titannitrid
Magnetronsputtern
Mechanische Eigenschaft
Kontamination
Sauerstoff
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Düsseldorf
- (wer)
-
VDI-Verl.
- (wann)
-
1992
- Urheber
-
Berg, Siegfried
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:35 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Berg, Siegfried
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1992
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