Predictive simulation of semiconductor processing : status and challenges

Aufsatzsammlung

Predictive simulation of semiconductor processingenables researchers and developersto extend the scaling range of semiconductor devices beyond the parameter range of empirical research. It requires a thorough understanding of the basic mechanisms employed in device fabrication, such as diffusion, ion implantation, epitaxy, defect formation and annealing, and contamination. This book presents an in-depth discussion of our current understanding of key processes and identifies areas that require further work in order to achieve the goal of a comprehensive, predictive process simulation tool. TOC:Transistors and Atoms.- Atomistic Simulations of Processes at Surfaces.- Atomistic Simulations in Materials Processing.- Atomistic Simulation of Decanano MOSFETs.- Modeling and Simulation of Heterojunction Bipolar Transistors.- Gate Oxide Reliability: Physical and Computational Models.- High-K Dielectrics: The Example of Pr2O3.- Atomistic Simulation of Si3N4 CVD from Dichlorosilane and NH3.- Interconnects and Propagation of High Frequency Signals.- Modeling of Electromigration in Interconnects.- Predictive Modeling of Transition Metal Gathering: Applications and Materials Science Challenges.

Angaben zum Objekt

• Standort: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
• ISBN: 9783540204817 ; 3540204814
• Maße: 24 cm
• Umfang: XVII, 490 S.
• Sprache: Englisch
• Anmerkungen: Ill., graph. Darst. ; Literaturangaben

Verweise und Beziehungen

• Erschienen in: Springer series in materials science ; 72

Klassifikation und Themen

• Klassifikation: Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau ; Physik
• Schlagwort: Transistor ; Atomare Bewegung ; Computersimulation ; Halbleitertechnologie ; Prozesssimulation

Beteiligte, Orts- und Zeitangaben

• Ereignis: Veröffentlichung
• (wo): Berlin, Heidelberg, New York, Hong Kong, London, Milan, Paris, Tokyo
• (wer): Springer
• (wann): 2004
• Beteiligte Personen und Organisationen: Dabrowski, Jarek

Weitere Informationen

• Inhaltsverzeichnis: https://d-nb.info/969082789/04
• Rechteinformation: Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
• Letzte Aktualisierung: 11.06.2025, 13:57 MESZ