Hochschulschrift
Lithographieunabhängige nanoskalige MOS-Technologie auf Bulk-Silizium
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783980933865
- Dimensions
-
24 cm, 480 gr.
- Extent
-
XVI, 138 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Dortmund, Techn. Univ., Diss., 2009
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
MOS-FET
Kurzkanal-FET
Silicium
Nanotechnologie
Prozesssimulation
Prozessoptimierung
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:05 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Kallis, Klaus
- Theophano-Verl.
Time of origin
- c 2009
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