Hochschulschrift

Zur Anwendung der Kurzzeit-Prozesstechnik in der MOS-Technologie

zu Verbundenen Objekten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783861112747
3861112744
Maße
21 cm
Umfang
145 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss., 1992

Schlagwort
MOS-Schaltung
Rapid thermal processing

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
1992
Urheber
Heyers, Klaus-Walter

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:03 MESZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Heyers, Klaus-Walter
  • Shaker

Entstanden

  • 1992

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