Metal‐lorganic chemical vapor deposition of aluminum scandium nitride

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch
Notes
physica status solidi. Rapid research letters. - 14, 1 (2020) , 1900535, ISSN: 1862-6254

Event
Veröffentlichung
(where)
Freiburg
(who)
Universität
(when)
2020
Creator
Leone, Stefano
Ligl, Jana
Manz, Christian
Kirste, Lutz
Fuchs, Theodor
Menner, Hanspeter
Prescher, Mario
Wiegert, Joachim
Zukauskaite, Agne
Quay, Rüdiger
Ambacher, Oliver
Contributor
Professur für Leistungselektronik

DOI
10.1002/pssr.201900535
URN
urn:nbn:de:bsz:25-freidok-1722186
Rights
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 7:35 AM CEST

Data provider

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Time of origin

  • 2020

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