Hochschulschrift
Röntgentiefenlithographische Mikrostrukturfertigung : Genauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch Schrägbelichtung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183242092
3183242095
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VI, 107 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Bonn, Univ., Diss., 1996
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 242, Reihe 9
- Keyword
-
Röntgenlithografie
LIGA-Verfahren
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:42 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Feiertag, Gregor
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1996
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