Hochschulschrift
Röntgentiefenlithographische Mikrostrukturfertigung : Genauigkeit der Abbildung und Strukturierung durch Schrägbelichtung
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183242092
3183242095
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
VI, 107 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Bonn, Univ., Diss., 1996
- Erschienen in
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 242, Reihe 9
- Schlagwort
-
Röntgenlithografie
LIGA-Verfahren
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:42 MEZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Feiertag, Gregor
- VDI-Verl.
Entstanden
- 1996
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