- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
In: Optionen zukünftiger industrieller Produktionssysteme ; S. 133-218
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Halbleitertechnologie
Halbleiter
Mikroelektronik
Produktionsregelsystem
Planartechnik
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Berlin
- (who)
-
Berlin-Brandenburgische Akademie der Wissenschaften
- (when)
-
2007
- Creator
-
Wagemann, Hans-Günther
Banse, Klaus-Dieter
- URN
-
urn:nbn:de:kobv:b4360-1002819
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:44 PM CET
Data provider
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Associated
- Wagemann, Hans-Günther
- Banse, Klaus-Dieter
- Berlin-Brandenburgische Akademie der Wissenschaften
Time of origin
- 2007
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