Hochschulschrift

Mikrointerferometrie mit Lichtquellen unterschiedlicher spektraler Eigenschaften

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783832272913
Dimensions
21 cm, 198 gr.
Extent
VI, 122 S.
Language
Deutsch
Notes
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2007

Bibliographic citation
Schriftenreihe des Instituts für Produktionsmesstechnik, TU Braunschweig / Institut für Produktionsmesstechnik ; Bd. 4

Keyword
Mikrosystemtechnik
Prozessüberwachung
Fertigungsmesstechnik
Oberflächenmessung
Dimension 3
Interferenzmikroskopie

Event
Veröffentlichung
(where)
Aachen
(who)
Shaker
(when)
2008
Creator

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Last update
11.06.2025, 2:05 PM CEST

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Object type

  • Hochschulschrift

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Time of origin

  • 2008

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