Technologie und pysikalische Eigenschaften strahlungsinduzierter Zentren in Silizium
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Chemnitz, Technische Universität Chemnitz, Dissertation, 2012
- Keyword
-
Technischer Fehler
Silicium
Gitterleerstelle
Energen
Zwischengitteratom
Silicium
Defekt
Implantation
Störstelle
Halbleiter
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (when)
-
2012
- Creator
- Contributor
-
Lutz, Josef
Wieck, Andreas
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-82228
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:58 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
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Associated
- Klug, Jan N.
- Lutz, Josef
- Wieck, Andreas
- Universitätsbibliothek Chemnitz
Time of origin
- 2012
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