- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832220433
3832220437
- Dimensions
-
21 cm, 219 gr.
- Extent
-
146 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2003
- Bibliographic citation
-
Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; Bd. 9
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Keyword
-
Spulensystem
Mikrosystemtechnik
Galvanische Abscheidung
Fotolithografie
Mikroaktor
Mikrosensor
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
2003
- Creator
-
Seidemann, Volker
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.03.2025, 11:46 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Seidemann, Volker
- Shaker
Time of origin
- 2003
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