Hochschulschrift
Mikrotechnische Herstellung von Spulen und induktiven Sensoren
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832208226
3832208224
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
II, 97 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Braunschweig, Techn. Univ., Diss., 2002
- Erschienen in
-
Berichte aus der Mikro- und Feinwerktechnik ; Bd. 8
- Schlagwort
-
Mikrosensor
Spule
Galvanische Abscheidung
Fotolithografie
Photoresist
Planartechnik
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
2002
- Urheber
-
Ohnmacht, Markus
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:55 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Ohnmacht, Markus
- Shaker
Entstanden
- 2002
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