Hochschulschrift
Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783181482094
3181482099
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
147 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
77 Ill. u. graph. Darst.
Als Ms. gedr.
Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 1988
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 82, Reihe 9
- Keyword
-
CMOS-Schaltung
SOI-Technik
Dreidimensionale Integration
Rekristallisation
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 1:46 PM CEST
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Hilleringmann, Ulrich
- VDI-Verl.
Time of origin
- 1988
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