Hochschulschrift

Laserrekristallisation von Silizium: Integration von CMOS-Schaltungen auf isolierendem Substrat

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Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783181482094
3181482099
Maße
21 cm
Umfang
147 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
77 Ill. u. graph. Darst.
Als Ms. gedr.
Zugl.: Dortmund, Univ., Diss., 1988

Erschienen in
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 82, Reihe 9

Schlagwort
CMOS-Schaltung
SOI-Technik
Dreidimensionale Integration
Rekristallisation

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Düsseldorf
(wer)
VDI-Verl.
(wann)
1988
Urheber

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 13:46 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 1988

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