Hochschulschrift

Untersuchungen zu CMOS-kompatiblen Bauelementen mit SiGe-Si-Heterostrukturen auf SIMOX-Substraten

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
30 cm
Umfang
121 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Duisburg, Univ., Diss., 2000 (Nicht für den Austausch)

Schlagwort
Silicium
Germanium
Epitaxieschicht
Heterostruktur
CMOS
SIMOX
Silicium
Germanium
Heterostruktur
CMOS
SIMOX

Urheber
Trui, Bernhard

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:12 MESZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Trui, Bernhard

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