Hochschulschrift
Simulation von Implantationsprofilen mit Methoden der Transporttheorie
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826516726
3826516729
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
II, 138, 17 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1996
- Bibliographic citation
-
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 96,1
- Keyword
-
Halbleiterbauelement
Ionenimplantation
Transportprozess
Boltzmann-Gleichung
Finite-Elemente-Methode
Galerkin-Methode
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Aachen
- (who)
-
Shaker
- (when)
-
1996
- Creator
-
Barthel, Armin
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:25 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Barthel, Armin
- Shaker
Time of origin
- 1996
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