Hochschulschrift
Simulation von Implantationsprofilen mit Methoden der Transporttheorie
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783826516726
3826516729
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
II, 138, 17 S.
- Ausgabe
-
Als Ms. gedr.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1996
- Erschienen in
-
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 96,1
- Schlagwort
-
Halbleiterbauelement
Ionenimplantation
Transportprozess
Boltzmann-Gleichung
Finite-Elemente-Methode
Galerkin-Methode
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Aachen
- (wer)
-
Shaker
- (wann)
-
1996
- Urheber
-
Barthel, Armin
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 12:25 MEZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Barthel, Armin
- Shaker
Entstanden
- 1996