Hochschulschrift

Simulation von Implantationsprofilen mit Methoden der Transporttheorie

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISBN
9783826516726
3826516729
Maße
21 cm
Umfang
II, 138, 17 S.
Ausgabe
Als Ms. gedr.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
graph. Darst.
Zugl.: Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 1996

Erschienen in
Erlanger Berichte Mikroelektronik ; Bd. 96,1

Schlagwort
Halbleiterbauelement
Ionenimplantation
Transportprozess
Boltzmann-Gleichung
Finite-Elemente-Methode
Galerkin-Methode

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Aachen
(wer)
Shaker
(wann)
1996
Urheber
Barthel, Armin

Inhaltsverzeichnis
Rechteinformation
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Letzte Aktualisierung
11.03.2025, 12:25 MEZ

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

  • Barthel, Armin
  • Shaker

Entstanden

  • 1996

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