FEA to Tackle Damage and Cracking Risks in BEoL Structures under Copper Wire Bonding Impact
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Englisch
- Notes
-
In: AMC 2015 – Advanced Metallization Conference
- Keyword
-
Kupfer
Bonden
Rissbildung
Finite-Elemente-Methode
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Universitätsbibliothek Chemnitz
- (when)
-
2016
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Chemnitz
- (who)
-
Technische Universität Chemnitz
- (when)
-
2016
- Creator
-
Auersperg, Jürgen
Breuer, D.
Machani, K.V.
Rzepka, Sven
Michel, Bernd
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:ch1-qucosa-207250
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
14.08.2025, 10:53 AM CEST
Data provider
This object is provided by:
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
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Associated
- Auersperg, Jürgen
- Breuer, D.
- Machani, K.V.
- Rzepka, Sven
- Michel, Bernd
- Universitätsbibliothek Chemnitz
- Technische Universität Chemnitz
Time of origin
- 2016
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