Integration optischer Filter mit strukturierten mikromechanisch abstimmbaren Sensor-Arrays mittels Dünnschichtdeposition und Nanostrukturierung
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783862197149
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
165 S.
- Edition
-
2., korrigierte Aufl.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zusätzliches Online-Angebot unter URN: http://nbn-resolving.de/urn:nbn:de.0002-37155
Zugl.: Kassel, Univ., Diss., 2012
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
Spektrometer
Miniaturisierung
Fabry-Pérot-Interferometer
Optisches Filter
Verteilte Bragg-Reflexion
Sensor-Array
Nanooptik
Dünne Schicht
PECVD-Verfahren
Fotolithografie
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 2:10 PM CEST
Data provider
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Associated
- Schultz, Karin
- Kassel Univ. Press
Time of origin
- 2014
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