Hochschulschrift

Mathematische Modellierung und numerische Simulation der Sublimationszüchtung von Siliziumkarbid-Volumenkristallen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Maße
21 cm
Umfang
VI, 145 S.
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Ill., graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002

Schlagwort
Siliciumcarbid
Kristallzüchtung
Sublimation
PVD-Verfahren
Mathematisches Modell
Numerisches Verfahren
Siliciumcarbid ; Kristallzüchtung ; Sublimation ; PVD-Verfahren ; Mathematisches Modell ; Numerisches Verfahren

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Letzte Aktualisierung
11.06.2025, 14:24 MESZ

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Objekttyp

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