Hochschulschrift
Mathematische Modellierung und numerische Simulation der Sublimationszüchtung von Siliziumkarbid-Volumenkristallen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VI, 145 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Erlangen, Nürnberg, Univ., Diss., 2002
- Keyword
-
Siliciumcarbid
Kristallzüchtung
Sublimation
PVD-Verfahren
Mathematisches Modell
Numerisches Verfahren
Siliciumcarbid ; Kristallzüchtung ; Sublimation ; PVD-Verfahren ; Mathematisches Modell ; Numerisches Verfahren
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.06.2025, 2:24 PM CEST
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Object type
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