Hochschulschrift
Untersuchung und Realisierung von taktilen Sensorsystemen unter Verwendung der Oberflächenmikromechanik
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783183348091
3183348098
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
VI, 122 S.
- Edition
-
Als Ms. gedr.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Duisburg, Gesamthochsch., Diss., 2001
- Bibliographic citation
-
Fortschrittberichte VDI / 9 / Verein Deutscher Ingenieure ; Nr. 348, Reihe 9
- Keyword
-
Taktiler Sensor
Siliciumsensor
Wafer
CMOS-Schaltung
Mikromechanik
Oberflächenmontage
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 12:02 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Leineweber, Michael
- VDI-Verl.
Time of origin
- 2002
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