Hochschulschrift
Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors
- Weitere Titel
-
Simulation and characterization of a novel micromechanical electrostatic actuator
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Cottbus, BTU Cottbus - Senftenberg, Dissertation, 2016
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
MEMS
Simulation
Aktor
Casimir-Effekt
SOI-Technik
Kapazität
Mechanische Spannung
Energie
Räumliche Anordnung
Elektrode
Nanoprägen
Auslenkung
Aktor
Antrieb
MEMS
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Cottbus
- (wer)
-
BTU Cottbus - Senftenberg
- (wann)
-
2016
- Urheber
-
Kaiser, Bert
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Schenk, Harald
- URN
-
urn:nbn:de:kobv:co1-opus4-36716
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:42 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Kaiser, Bert
- Schenk, Harald
- BTU Cottbus - Senftenberg
Entstanden
- 2016
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