Soft UV nanoimprint lithography : concept, development, and fabrication of nanostructures with tunable feature sizes at constant pitch
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ilmenau, TU Ilmenau, Dissertation, 2018
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
Nanoimprint lithography
Pitch
Nanostructures
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Ilmenau
- (wer)
-
TU Ilmenau
- (wann)
-
2018
- Urheber
-
Si, Shuhao
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Hoffmann, Martin
Sinzinger, Stefan
Hillmer, Hartmut
- URN
-
urn:nbn:de:gbv:ilm1-2018000239
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:48 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Beteiligte
- Si, Shuhao
- Hoffmann, Martin
- Sinzinger, Stefan
- Hillmer, Hartmut
- TU Ilmenau
Entstanden
- 2018
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