Noise Reduction in Coherence Scanning Interferometry for Surface Topography Measurement

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
ISSN
2520-8128
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Englisch
Anmerkungen
online resource.

Erschienen in
Noise Reduction in Coherence Scanning Interferometry for Surface Topography Measurement ; volume:3 ; number:1 ; day:10 ; month:3 ; year:2020 ; pages:68-76 ; date:3.2020
Nanomanufacturing and metrology ; 3, Heft 1 (10.3.2020), 68-76, 3.2020

Urheber
Gomez, Carlos
Su, Rong
de Groot, Peter
Leach, Richard
Beteiligte Personen und Organisationen
SpringerLink (Online service)

DOI
10.1007/s41871-020-00057-4
URN
urn:nbn:de:101:1-2020061422154288750795
Rechteinformation
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
14.08.2025, 10:56 MESZ

Datenpartner

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Beteiligte

  • Gomez, Carlos
  • Su, Rong
  • de Groot, Peter
  • Leach, Richard
  • SpringerLink (Online service)

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