Noise Reduction in Coherence Scanning Interferometry for Surface Topography Measurement
- Standort
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISSN
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2520-8128
- Umfang
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Online-Ressource
- Sprache
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Englisch
- Anmerkungen
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online resource.
- Erschienen in
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Noise Reduction in Coherence Scanning Interferometry for Surface Topography Measurement ; volume:3 ; number:1 ; day:10 ; month:3 ; year:2020 ; pages:68-76 ; date:3.2020
Nanomanufacturing and metrology ; 3, Heft 1 (10.3.2020), 68-76, 3.2020
- Urheber
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Gomez, Carlos
Su, Rong
de Groot, Peter
Leach, Richard
- Beteiligte Personen und Organisationen
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SpringerLink (Online service)
- DOI
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10.1007/s41871-020-00057-4
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2020061422154288750795
- Rechteinformation
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Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
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14.08.2025, 10:56 MESZ
Datenpartner
Deutsche Nationalbibliothek. Bei Fragen zum Objekt wenden Sie sich bitte an den Datenpartner.
Beteiligte
- Gomez, Carlos
- Su, Rong
- de Groot, Peter
- Leach, Richard
- SpringerLink (Online service)