Beiträge. High-resolution coherence scanning immersion interferometry for characterization of technical surface topographies

Die Kohärenz-Scanning- Interferometrie ist eine berührungslose optische Messmethode zur hochauflösenden dreidimensionalen Charakterisierung von Oberflächentopographien. Um die laterale Auflösung eines Interferenzmikroskops zu verbessern, wurde erstmals ein Linnik-Interferometer mit hochaperturigen Immersionsobjektiven aufgebaut und zur Messung technischer Oberflächen eingesetzt. Diese Studie zeigt den Einfluss eines Immersionsmediums zur Verbesserung der lateralen Auflösung und vergleicht Immersions- und Nicht-Immersionssysteme in Bezug auf Signalbildung und Übertragungsverhalten im dreidimensionalen Ortsfrequenzraum. Die Messergebnisse von transparenten AMONIL®-Gittern zeigen eine signifikante Verbesserung der Signalqualität im Vergleich zum Nicht- Immersionssystem. Außerdem werden Messergebnisse von Halbkugeln vorgestellt, die durch Substrate Sonformal Imprint Lithography substrukturiert wurden.
Abstract: Coherence scanning interferometry is an optical, non-contact measurement technique employed for the high-resolution three-dimensional characterization of surface topography. In order to enhance the lateral resolution of an interference microscope, a Linnik interferometer with immersion objectives of high numerical aperture was set up and used to measure technical surfaces. This study demonstrates the impact of an immersion medium to improve the lateral resolution and compares immersion and non-immersion systems in terms of signal formation and transfer characteristics in the three-dimensional spatial frequency domain. The measurement results of transparent AMONIL® gratings show a significant improvement in signal quality using immersion systems compared to the non-immersion system. Furthermore, measurement results of hemispheres substructured by substrate conformal imprint lithography are presented.

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• Standort: Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
• Umfang: Online-Ressource
• Sprache: Deutsch

Verweise und Beziehungen

• Erschienen in: Beiträge. High-resolution coherence scanning immersion interferometry for characterization of technical surface topographies ; volume:91 ; number:s1 ; year:2024 ; pages:84-89 ; extent:6 ; Technisches Messen ; 91, Heft s1 (2024), 84-89 (gesamt 6)

Beteiligte, Orts- und Zeitangaben

• Urheber: Stelter, Andre ; Käkel, Eireen ; Hillmer, Hartmut ; Lehmann, Peter

Weitere Informationen

• DOI: 10.1515/teme-2024-0052
• URN: urn:nbn:de:101:1-2408051734307.856881149957
• Rechteinformation: Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.