- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
107 S.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Hannover, Univ., Diss., 2003 (Nicht für den Austausch)
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
- Schlagwort
-
VLSI
Kontaktieren
Leiterbahn
Unterbrechung
Kombinationsverfahren
Lasertechnologie
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:45 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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