Hochschulschrift
In situ ARXPS Charakterisierung von tantalbasierten Barriereschichten
- Alternative title
-
In situ characterization of tantalum based barrier films
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Cottbus, Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Diss., 2012
- Keyword
-
Photoelektronenspektroskopie
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Cottbus
- (who)
-
Universitätsbibliothek der BTU Cottbus
- (when)
-
2013
- Creator
- Contributor
-
Schmeißer, Dieter
- URN
-
urn:nbn:de:kobv:co1-opus-28485
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
- 14.08.2025, 9:02 AM UTC
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Gerlich, Lukas
- Schmeißer, Dieter
- Universitätsbibliothek der BTU Cottbus
Time of origin
- 2013
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