Hochschulschrift
In situ ARXPS Charakterisierung von tantalbasierten Barriereschichten
- Weitere Titel
-
In situ characterization of tantalum based barrier films
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Cottbus, Brandenburgische Technische Universität Cottbus, Diss., 2012
- Schlagwort
-
Photoelektronenspektroskopie
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Cottbus
- (wer)
-
Universitätsbibliothek der BTU Cottbus
- (wann)
-
2013
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
-
Schmeißer, Dieter
- URN
-
urn:nbn:de:kobv:co1-opus-28485
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
- 14.08.2025, 09:02 UTC
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Gerlich, Lukas
- Schmeißer, Dieter
- Universitätsbibliothek der BTU Cottbus
Entstanden
- 2013
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