Hochschulschrift
Low temperature silicon epitaxy : defects and electronic properties
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832218072
3832218076
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XIII, 130 S.
- Language
-
Englisch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003
- Keyword
-
Epitaxie
Ionenstrahl
Niedrigtemperatur
Silicium
Schichtwachstum
Epitaxieschicht
Silicon
Silicium ; Epitaxie ; Niedrigtemperatur ; elektronische Eigenschaft
- Table of contents
- Rights
-
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- Last update
-
11.03.2025, 11:39 AM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Wagner, Thomas
- Shaker
Time of origin
- 2003
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