Hochschulschrift
Low temperature silicon epitaxy : defects and electronic properties
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- ISBN
-
9783832218072
3832218076
- Maße
-
21 cm
- Umfang
-
XIII, 130 S.
- Sprache
-
Englisch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 2003
- Schlagwort
-
Epitaxie
Ionenstrahl
Niedrigtemperatur
Silicium
Schichtwachstum
Epitaxieschicht
Silicon
Silicium ; Epitaxie ; Niedrigtemperatur ; elektronische Eigenschaft
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.03.2025, 11:39 MEZ
Datenpartner
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Wagner, Thomas
- Shaker
Entstanden
- 2003
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