Fabrication and characterization of a piezoresistive humidity sensor with a stress-free package
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Englisch
- Bibliographic citation
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Fabrication and characterization of a piezoresistive humidity sensor with a stress-free package ; volume:3 ; number:2 ; year:2014 ; pages:167-175
Journal of sensors and sensor systems ; 3, Heft 2 (2014), 167-175
- Creator
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Waber, T.
Sax, M.
Pahl, W.
Stufler, S.
Leidl, A.
Günther, M.
Feiertag, G.
- DOI
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10.5194/jsss-3-167-2014
- URN
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urn:nbn:de:101:1-2017103012621
- Rights
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Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
15.08.2025, 6:25 AM CEST
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Associated
- Waber, T.
- Sax, M.
- Pahl, W.
- Stufler, S.
- Leidl, A.
- Günther, M.
- Feiertag, G.