Fabrication and characterization of a piezoresistive humidity sensor with a stress-free package

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Englisch

Bibliographic citation
Fabrication and characterization of a piezoresistive humidity sensor with a stress-free package ; volume:3 ; number:2 ; year:2014 ; pages:167-175
Journal of sensors and sensor systems ; 3, Heft 2 (2014), 167-175

Creator
Waber, T.
Sax, M.
Pahl, W.
Stufler, S.
Leidl, A.
Günther, M.
Feiertag, G.

DOI
10.5194/jsss-3-167-2014
URN
urn:nbn:de:101:1-2017103012621
Rights
Open Access; Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
15.08.2025, 6:25 AM CEST

Data provider

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