Hochschulschrift
Einfluß elektrischer Parameter auf Vakuumbogenentladungen in PVD-Prozessen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Dimensions
-
21 cm
- Extent
-
XI, 169 S.
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Ill., graph. Darst.
Magdeburg, Univ., Diss., 1997
- Keyword
-
Hartstoff
PVD-Verfahren
Vakuumlichtbogen
Bogenentladung
Prozessanalyse
- Creator
- Table of contents
- Rights
-
Bei diesem Objekt liegt nur das Inhaltsverzeichnis digital vor. Der Zugriff darauf ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
11.06.2025, 1:54 PM CEST
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Object type
- Hochschulschrift
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