Hochschulschrift

Kombinatorische Herstellung und Hochdurchsatz-Charakterisierung von Ta-Nb-X Schichtsystemen

Standort
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Umfang
Online-Ressource
Sprache
Deutsch
Anmerkungen
Bochum, Ruhr-Universität Bochum, Diss., 2015

Klassifikation
Chemie
Schlagwort
Übergangsmetall
Legierung
Dünne Schicht
Mikrosystemtechnik
Kombinatorik
Werkstoffkunde
Dünne Schicht
Phasendiagramm
Übergangsmetall

Ereignis
Veröffentlichung
(wo)
Bochum
(wer)
Ruhr-Universität Bochum
(wann)
2016
Urheber
Beteiligte Personen und Organisationen
Ludwig, Alfred
Theisen, Werner

URN
urn:nbn:de:hbz:294-45726
Rechteinformation
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Letzte Aktualisierung
25.03.2025, 13:44 MEZ

Datenpartner

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Objekttyp

  • Hochschulschrift

Beteiligte

Entstanden

  • 2016

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