Hochschulschrift | Online-Publikation
Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Duisburg, Essen, Univ., Habil.-Schr., 2005
- Classification
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Chemie
- Keyword
-
Halbleitertechnologie
Gasphasenreaktion
Gasanalyse
Spurenelement
Atomabsorptionsspektroskopie
Halbleitertechnologie
Gasphasenreaktion
Gasanalyse
Spurenelement
Atomemissionsspektroskopie
- Creator
- URN
-
urn:nbn:de:hbz:464-duett-03312005-1337049
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:51 PM CET
Data provider
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Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation
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