Hochschulschrift | Online-Publikation
Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen
- Location
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Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
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Online-Ressource
- Language
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Deutsch
- Notes
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Duisburg, Essen, Univ., Habil.-Schr., 2005
- Classification
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Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Chemie
- Keyword
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Halbleitertechnologie
Gasphasenreaktion
Gasanalyse
Spurenelement
Atomabsorptionsspektroskopie
Halbleitertechnologie
Gasphasenreaktion
Gasanalyse
Spurenelement
Atomemissionsspektroskopie
- Creator
- URN
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urn:nbn:de:hbz:464-duett-03312005-1337049
- Rights
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Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
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25.03.2025, 1:51 PM CET
Data provider
Deutsche Nationalbibliothek. If you have any questions about the object, please contact the data provider.
Object type
- Hochschulschrift
- Online-Publikation