Hochschulschrift | Online-Publikation

Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen

Location
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
Extent
Online-Ressource
Language
Deutsch
Notes
Duisburg, Essen, Univ., Habil.-Schr., 2005

Classification
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Chemie
Keyword
Halbleitertechnologie
Gasphasenreaktion
Gasanalyse
Spurenelement
Atomabsorptionsspektroskopie
Halbleitertechnologie
Gasphasenreaktion
Gasanalyse
Spurenelement
Atomemissionsspektroskopie

Creator

URN
urn:nbn:de:hbz:464-duett-03312005-1337049
Rights
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
Last update
25.03.2025, 1:51 PM CET

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