Hochschulschrift
Entwicklung, Anwendungen und Grenzen atomspektrometrischer Verfahren zur Spurenelementbestimmung in reaktiven Prozessgasen
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Maße
-
30 cm
- Umfang
-
128 Bl.
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Ill., graph. Darst.
Duisburg, Essen, Univ., Habil.-Schr., 2005 (Nicht für den Austausch)
- Klassifikation
-
Ingenieurwissenschaften und Maschinenbau
Chemie
- Schlagwort
-
Halbleitertechnologie
Gasphasenreaktion
Gasanalyse
Spurenelement
Atomabsorptionsspektroskopie
Halbleitertechnologie
Gasphasenreaktion
Gasanalyse
Spurenelement
Atomemissionsspektroskopie
- Urheber
- Inhaltsverzeichnis
- Rechteinformation
-
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- Letzte Aktualisierung
-
11.06.2025, 13:58 MESZ
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
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