Hochschulschrift
Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
- Standort
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Umfang
-
Online-Ressource
- Sprache
-
Deutsch
- Anmerkungen
-
Dresden, Technische Universität Dresden, Dissertation, 2018
- Klassifikation
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Schlagwort
-
MEMS
Spiegelsystem
Scanner
Mikroaktor
Kammantrieb
Positionsgeber
Reglerentwurf
Repetitive control
Systementwurf
Reglerentwurf
Scanner
Mikroaktor
MEMS
Flachheitsbasierte Folgeregelung
Kammantrieb
Repetitive control
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Vogt Verlag
- (wann)
-
2023
- Ereignis
-
Veröffentlichung
- (wo)
-
Dresden
- (wer)
-
Technische Universität Dresden
- (wann)
-
2023
- Urheber
- Beteiligte Personen und Organisationen
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-882591
- Rechteinformation
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Letzte Aktualisierung
-
25.03.2025, 13:52 MEZ
Datenpartner
Dieses Objekt wird bereitgestellt von:
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Objekttyp
- Hochschulschrift
Beteiligte
- Schroedter, Richard
- Janschek, Klaus
- Schitter, Georg
- Vogt Verlag
- Technische Universität Dresden
Entstanden
- 2023
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