Hochschulschrift
Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
- Location
-
Deutsche Nationalbibliothek Frankfurt am Main
- Extent
-
Online-Ressource
- Language
-
Deutsch
- Notes
-
Dresden, Technische Universität Dresden, Dissertation, 2018
- Classification
-
Elektrotechnik, Elektronik
- Keyword
-
MEMS
Spiegelsystem
Scanner
Mikroaktor
Kammantrieb
Positionsgeber
Reglerentwurf
Repetitive control
Systementwurf
Reglerentwurf
Scanner
Mikroaktor
MEMS
Flachheitsbasierte Folgeregelung
Kammantrieb
Repetitive control
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dresden
- (who)
-
Vogt Verlag
- (when)
-
2023
- Event
-
Veröffentlichung
- (where)
-
Dresden
- (who)
-
Technische Universität Dresden
- (when)
-
2023
- Creator
- Contributor
- URN
-
urn:nbn:de:bsz:14-qucosa2-882591
- Rights
-
Der Zugriff auf das Objekt ist unbeschränkt möglich.
- Last update
-
25.03.2025, 1:52 PM CET
Data provider
This object is provided by:
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Object type
- Hochschulschrift
Associated
- Schroedter, Richard
- Janschek, Klaus
- Schitter, Georg
- Vogt Verlag
- Technische Universität Dresden
Time of origin
- 2023
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